摘要：随着科学技术的发展，人们对光学元件的表面粗糙度和表面面形精度提出了越来越高的要求，光学元件表面缺陷检测技术也受到了广泛重视。通过简述表面缺陷的类型，强调了缺陷给光学系统带来的危害，由此分析和讨论了目前国内外对光学元件疵病的检测方法，并指出各种方法的优缺点，同时对机器视觉技术在疵病检测方面的应用进行了介绍，还探讨了光学元件表面缺陷检测技术未来发展需要注意解决的问题。

　　随着现代工业的快速发展, 精密光学元件在各个工业领域有着广泛的应用, 光学元件作为实现光学功能的载体, 为各类光学仪器的开发使用起到了至关重要的作用。所以, 鉴于光学元件表面具有的散射特性, 如何更好地对元件表面缺陷进行检测也随之被提出来。

　　光学元件的检测过程十分繁琐并且充满着不确定性, 光学元件按组成材料可分为普通光学玻璃、钕玻璃、熔融石英光学玻璃、氟化钙(CaF2)等一系列材料; 按光学元件口径可有大到几米也有小到一二毫米的, 差别可达到数千倍; 按光学元件外形的不同可分为平板、非球面靶镜、球面透镜、柱面透镜、角锥棱镜、偏光镜、玻璃球等。为了适用于以上三个方面的各种光学元件的需求, 测量仪器、环境、设备、技术必定是各式各样的。面对如此种类繁多、功能和外形各不相同的光学元件, 需要我们去探索相应的检测技术。

　　因此, 本文主要从光学元件表面缺陷、表面散射特性, 以及目前国内外各种研究方法等方面, 对光学元件表面疵病检测的相关研究进行综述, 并探讨利用机器视觉的缺陷检测技术及未来的发展趋势。